氦气泄露测试仪
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氦气泄露测试仪
混氦系统提供百分之10氦气，对被检工件抽空后充入5bar的氦气，被检工件外面是具有一定真空度要求的真空箱，真空箱与Inficon LDS3000氦质谱检漏仪检漏口相接。若被检工件有漏，则漏入真空箱的氦气可通过氦质谱检漏仪测出。
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